Le matériau d'apport est évaporé par chauffage sous vide partiel ( présence d'argon).
Sous l'action d'un courant électrique de très haute tension l'argon s'ionise selon:
Ar = Ar++ e-
Le métal s'évapore puis vient se condenser sur le substrat dans un plasma de gaz neutre argon.
L'argon est attiré violemment vers le substrat et permet ainsi « d'implanter » les ions
